Zu den Vorvätern der Vakuumtechnik gehören große Wissenschaftler, die fast alle seit dem 17. Jahrhundert tätig sind.
Das Konzept des “Vakuums” hat im Laufe der Geschichte, seit der griechischen Antike, das Interesse vielseitiger Persönlichkeiten auf sich gezogen. Der erste, der über die Eigenschaften des Vakuums thematisierte, war Otto von Guericke, ein Politiker, Jurist und Physiker, der 1650 die erste pneumatische Pumpe und den ersten Kolben erfand, um die Kraft des atmosphärischen Drucks zu demonstrieren und Experimente durchzuführen, indem er künstlich Hohlräume erzeugte.
Es bedeutete, sich mit den Kräften der Natur zu befassen, und viele andere interessierten sich bald für dieses Thema. So wie Robert Boyle: ein britischer Physiker und Chemiker, der für seine Studien über Druck und Vakuum und insbesondere für das nach ihm benannte Gesetz bekannt ist, das das Verhalten von Gasen unter Druck beschreibt.
Im 18. Jahrhundert untersuchte Daniel Bernoulli, ein Schweizer Physiker und Mathematiker, die Beziehung zwischen Druck und Flüssigkeitsgeschwindigkeit. Seine Gleichung, die die Erhaltung der Energie in einer Flüssigkeitsströmung beschreibt, wird noch heute bei der Konstruktion von Pumpen und Vakuumsystemen verwendet. Bernoulli führte auch Experimente zur Erzeugung eines künstlichen Vakuums mit Hilfe von Luftdruck durch. Dieses System bildet noch immer die Grundlage für die Bernoulli-Vakuumpumpen.
Wenn wir die (erfolgreichen und erfolglosen) Experimente vieler anderer Wissenschaftler durchgehen, gelangen wir ins 19. Jahrhundert mit Hermann Sprengel, einem deutschen Chemiker, der dafür bekannt ist, die Quecksilberpumpe geschaffen zu haben, die stärker als die vorherigen ist, und mit Charles Chamberland, einem französischen Mikrobiologen dafür bekannt, eine Filtrationskammer entwickelt zu haben, die verwendet wird, um Mikroben von Lösungen zu trennen. Chamberlands Erfindung hat unter anderem die Entwicklung von Impfstoffen und die Reinigung von Wasser ermöglicht und damit die Lebensperspektiven der Menschen verbessert.
Noch einen Schritt weiter, im 20. Jahrhundert, wandte Ernst Ruska ein Vakuum auf das Instrument des Elektronenmikroskops an, um hochauflösende Bilder von sehr kleinen Objekten erstellen zu können. Seine Erfindung revolutionierte die Biologie, die Medizin und die Materialwissenschaften völlig.
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